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Nanotec自動研磨拋光機用于簡單的薄膜厚度測量,自動拋光機用旋轉(zhuǎn)的鋼球?qū)悠愤M行拋光,并用光學(xué)顯微鏡測量拋光痕跡。旋轉(zhuǎn)的鋼球?qū)悠愤M行拋光,用光學(xué)顯微鏡測量拋光痕跡,即可測出膜厚。
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